二、儀器主要技術(shù)參數(shù)

1. 工作壓力：常壓～50MPa，計(jì)量精度：±0.1 MPa；

2. 工作溫度：室溫～100℃，計(jì)量精度：±0.1℃；

3. 流量范圍：0.005～80ml/h，計(jì)量精度：0.1% F.S；

4. 系統(tǒng)耐壓：70 MPa；

5. 模型規(guī)格：光刻模型：45×45mm。

三、系統(tǒng)組成

微觀驅(qū)替物模系統(tǒng)主要由注入系統(tǒng)、模型系統(tǒng)、計(jì)量系統(tǒng)、數(shù)據(jù)及圖像采集處理系統(tǒng)四個(gè)部分組成。詳見(jiàn)系統(tǒng)流程圖

（1）注入系統(tǒng)由注入泵、中間容器、真空泵、環(huán)壓泵等組成?？商峁┳⑷胨?氣體/化學(xué)劑等多重介質(zhì)，用于注入模型本體。在設(shè)計(jì)流程時(shí)，要求整個(gè)流程，包括使用的管閥件死體積盡可能小。

（2）模型系統(tǒng)由高溫高壓可視模型、平射光源、恒溫箱等組成。

（3）計(jì)量系統(tǒng)由測(cè)壓傳感器、溫控儀、計(jì)量管和回壓系統(tǒng)等組成。

（4）數(shù)據(jù)及圖像采集處理系統(tǒng)包括高倍顯微鏡、彩色攝像頭、圖像采集卡、數(shù)碼照相機(jī)、臺(tái)式電腦、微觀驅(qū)替數(shù)據(jù)及圖像分析軟件等。